Atacama (Región de Atacama)
Atacama er med 254.336 indbyggere (2002) den tredjemindst befolkede af Chiles regioner efter Aisén og Magallanes og Antártica Chilena. Heraf bor over halvdelen i de to byer Copiapó (125.983 indbyggere) og Vallenar (43.750). De øvrige større byer er Caldera (12.776), Chañaral (12.086), El Salvador (8.697), Tierra Amarilla (8.578) og Diego de Almagro (7.951).
Man finder en større gruppe af oprindelige folk, mestizer og minebyer med forbindelse til Bolivia i regionen. I lighed med regionerne Antofagasto samt Arica og Parinacota stammer en stor del af befolkningen fra nybyggerprogrammer med udflytninger i slutningen af det 19. århundrede fra den centrale dal i landet.